半干法烟气脱硫设备的工艺过程是锅炉烟气在入塔之前同脱硫剂（CaO和Ca（OH）2）混合后，进入脱硫塔，水雾从塔顶喷淋入塔，SO2、水和脱硫剂在脱硫塔内发生化学反应，脱硫剂与SO2的水溶液（即亚硫酸）反应生成亚硫酸钙，亚硫酸钙再氧化成硫酸钙，即可脱除烟气中的SO2。

半干法烟气脱硫设备工艺融合了湿法、干法脱硫工艺的优点,具有广阔的应用前景。半干法烟气脱硫利用热烟气使Ca(OH)2吸收烟气中的SO2，在反应生成CaO和Ca（OH）2的同时进行干燥过程，使 终产物为干粉状。该工艺通常配合袋式除尘器使用,能提高10%～15%的脱硫效率。

1.旋转喷雾干燥法

该方法是通过高速旋转雾化器将吸收剂浆液雾化成细小雾滴,喷入吸收塔与烟气形成比较大的接触表面积，在气液两相中进行传质、传热反应，生成亚硫酸钙和部分硫酸钙，达到脱硫的目的。脱硫效率在80%~85%，它的优点是流程简单，占地面积小，投资较少，物废水排出。缺点是技术要求高，吸收剂用量难以控制，生产物太细小不易除尘，设备腐蚀严重。

2.循环流化床法

该工艺原理是以将烟气通入床料为脱硫剂的循环流化床内，使烟气发生反应达到脱硫目的。主要是采用石灰石(CaCO3)和白云石(CaCO3˙MgCO3)为脱硫剂。通过脱硫剂的多次再循环,延长脱硫剂与烟气的接触时间,来提脱硫剂的利用率和脱硫效率，一般高达90%，并且占地面积少，投资小，运行费用低，适合老机组烟气脱硫。

3.炉内喷钙后增湿活化法

该方法是用石灰石等碱性钙质吸收剂直接向锅炉膛内高温区喷入，经过煅烧后生成有高反应接触面的许多CaO细小颗粒，在高速烟气流的带动下，颗粒物进入较低温度区，在这里CaO颗粒不再结晶，在富氧状态下吸收烟气中的SO2，从而达到脱硫目的。该方法工艺简单，设备投资费用和运行费用低，适合现有电厂改造，具有广泛的应用前景，但其大缺点是对锅炉有不利影响，引起炉内结焦、受热面磨损。